தஞ்சையை தண்+ செய் என பிரிப்பர். தண் என்றால் குளுமை என்றும், செய் என்றால் வயல் என்றும் பொருள்படும். இவ்வூர் பற்றிய குறிப்புகள் திருச்சி மலைக்கோட்டை பல்லவமன்னன் சிம்ம விஷ்ணுவின் (கி.பி.555- 590) கல்வெட்டில் உள்ளது. தஞ்சையில் பெரிய கோயில் கட்டுவதற்கு முன் தஞ்சை தளிக்குளத்தார் என்ற சிவாலயம் இருந்தது. இந்த சிவனின் பெயரால் தான், இவ்வூருக்கு தஞ்சாவூர் என பெயர் வந்ததாக தல வரலாறு தெரிவிக்கிறது.